基本介紹
恒普可為各類組件、載體提供專門的碳化鉭（TaC）涂層。通過恒普行業領先的涂層工藝，可以使得碳化鉭（TaC）涂層獲得高純度、高溫穩定性和高化學耐受性，可改善SIC/GAN晶體和EPI層的產品質量，并延長關鍵反應堆成分的壽命。采用碳化鉭TaC涂層, 是解決邊緣問題，提高晶體生長質量，是“長快、長厚、長大”的核心技術方向之一。為了推動行業技術發展，解決關鍵材料“進口”依賴，恒普突破性解決了碳化鉭涂層技術（CVD），達到了國際先進水平。
主要特征
超高純度
超高純度能有效避免雜質和污染的產生
高溫穩定性
2500°C內高溫穩定性，可實現超高溫操作
化學環境耐受性
對H2、NH3、SiH4和Si具有耐受性，
能在惡劣的化學環境中提供有效保護
長壽命不脫落
涂層與石墨本體的強結合力可以保證長周期
內涂層無脫落
抗熱震性
抗熱震性可以有效加快操作周期
嚴格的尺寸公差
碳化鉭涂層覆蓋滿足嚴格的尺寸公差
參數表
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 密度 | 14.3 （gm/cm3） |
| 比輻射率 | 0.3 |
| 熱膨脹系數（×10-6/K) | 6.3（×10-6/K) |
| 硬度（HK) | 2000 |
| 電阻（Ohm-cm） | 1×10-5（Ohm-cm） |
| 熱穩定性 | ＜2500℃ |
| 石墨尺寸變化 | -10~-20um（參考值） |
| 涂層厚度 | ≥20um 典型值（35um±10um） |
| 以上為典型值 |
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