亚洲综合精品香蕉久久网丨国产精品一区二区视频丨亚洲精品国产精丨成年人爱爱视频丨国产精品久久久久久久久免小说

突破sic生長關鍵核心材料

碳化硅晶體生長時,晶體軸向中心與邊緣的生長界面的“環境”不同,使邊緣的晶體應力徒增,且晶體邊緣由于石墨檔環"碳”的影響,容易產生“綜合缺陷”,如何解決邊緣問題或增加中心有效面積(95%以上)是重要的技術課題。

隨著“微管”“包裹物”等宏觀缺陷逐漸被行業控制,挑戰碳化硅晶體“長快、長厚、長大”,邊緣“綜合缺陷”就異常突顯,隨著碳化硅晶體直徑、厚度的增加,邊緣“綜合缺陷”會以直徑平方及厚度成倍數增加。

采用碳化鉭TaC涂層, 是解決邊緣問題,提高晶體生長質量,是“長快、長厚、長大”的核心技術方向之一。為了推動行業技術發展,解決關鍵材料“進口”依賴,恒普突破性解決了碳化鉭涂層技術(CVD),達到了國際先進水平。

碳化鉭TaC涂層,從實現的角度并不困難,用燒結、CVD等方法都容易實現。燒結法,采用碳化鉭粉或前驅體,添加活化成分(一般為金屬)和粘接劑(一般為長鏈高分子),涂覆到石墨基材表面高溫燒結。CVD法,采用TaCl5+H2+CH4,在900-1500℃,沉積到石墨基體表面。

但碳化鉭沉積的晶向,膜厚均勻、涂層與石墨基體的應力釋放、表面裂紋等基礎參數,卻極具挑戰。特別是能在sic晶體生長環境下,有穩定的使用壽命是核心參數,是最難點。

恒普技術| 零實驗室,致力于材料的基礎研究和創新方向探索。

主站蜘蛛池模板: 欧美孕妇变态重口另类| 国产精品久久无码一区二区三区网| 天堂网www在线资源中文| 自拍偷亚洲产在线观看| 国产精成人品日日拍夜夜免费| 天天干干天天| 亚洲中文字幕久久久一区| 免费夜色污私人影院在线观看| 麻豆高清免费国产一区| 天天躁日日躁狠狠躁一区| 久久国产劲爆∧v内射| 丰满少妇人妻无码专区| 99视频在线精品免费观看6| 无尺码精品产品视频| 2一3sex性hd| 一本大道av伊人久久综合| 国产免费xoxo在线视频| 男人放进女人阳道动态图| 国产手机在线国内精品| 国模大尺度啪啪| a毛片视频| 国产97在线 | 中文| 天天干网| 久久久久无码国产精品不卡| 亚洲成av人片在线观看www| 国产精品夜夜春夜夜爽久久小| 欧美极p品少妇的xxxxx | 亚洲精品嫩草| 色综合久久久久无码专区| 日韩精品成人一区二区三区 | 日日干夜夜干| 中文字幕无码免费久久99| 国产真实老熟女无套内射| 麻豆av一区二区三区久久| 无码专区aaaaaa免费视频| 中文无码天天av天天爽| 黄色一级视频| 4438五月天|