感應(yīng)爐 SICG6-M07
水冷夾套式金屬腔體SiC長晶爐，線圈與熱場沒有間隔，發(fā)熱效率高且改變熱場靈活。采用固定線圈，坩堝移動(dòng)的方式來達(dá)成工藝的穩(wěn)定執(zhí)行。在滿足了長晶需求的同時(shí)，更低的制造成本，使其在長晶效果和設(shè)備成本上達(dá)到一個(gè)較高的性價(jià)比。
產(chǎn)品優(yōu)勢
6英寸與8英寸可調(diào)
- 采用可置換線圈設(shè)計(jì)，爐殼同時(shí)滿足6英寸及8英寸設(shè)計(jì)，可以在生產(chǎn)發(fā)展中實(shí)現(xiàn)設(shè)備的技術(shù)提升
下爐蓋托盤升降
- 可有效降低溫度衰減率
- 校準(zhǔn)操作簡單、便捷
先進(jìn)技術(shù)
軸徑分離技術(shù)
注：單一爐型不一定涉及全部技術(shù)，僅供參考，詳情歡迎致電恒普
【軸徑分離】技術(shù)應(yīng)用于電阻式長晶爐徹底解決軸徑方向上的溫度耦合現(xiàn)象。調(diào)整軸向溫度梯度，提升晶體生長速度，徑向溫度梯度也隨之發(fā)生改變，從而導(dǎo)致晶體生長界面的凹凸變化、應(yīng)力增加，使得晶體缺陷增加。電阻式長晶爐通過不同區(qū)域的電阻發(fā)熱，達(dá)到籽晶區(qū)域和源料區(qū)域的溫度分別控制，達(dá)到軸向溫度梯度與徑向溫度梯度分離，從而穩(wěn)定晶體生長面型的同時(shí)能夠大幅度提高晶體生長速度。
工具包
先進(jìn)材料
恒普為客戶提供長晶材料的一站式解決方案
碳化鉭涂層
碳化硅涂層
多孔石墨
保溫氈等工具
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水冷夾套式金屬腔體SiC長晶爐，線圈與熱場沒有間隔，發(fā)熱效率高且改變熱場靈活。采用固定線圈，坩堝移動(dòng)的方式來達(dá)成工藝的穩(wěn)定執(zhí)行。在滿足了長晶需求的同時(shí)，更低的制造成本，使其在長晶效果和設(shè)備成本上達(dá)到一個(gè)較高的性價(jià)比。
- 長晶方式PVT
- 加熱平臺感應(yīng)加熱
- 長晶速度0.1-0.2mm/h
- 長晶尺寸6 inch
- 長晶高度15-25mm
- 線圈類型N/A